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FAB缺陷黃綠光表面目檢燈

更新時間:2025-06-09   點擊次數(shù):910次

FAB是指半導(dǎo)體制造的工廠,目檢燈是指用于半導(dǎo)體材料表面缺陷或者晶圓缺陷檢測的設(shè)備。在半導(dǎo)體制造的環(huán)境中(FAB),黃綠光表面檢查燈是專門用于玻璃、晶圓燈材料的表面缺陷檢查工具。

FAB場景下和其中核心技術(shù)上的細節(jié)上的應(yīng)用特別之處:

一、設(shè)計要求和核心技術(shù)

  1. 波長選擇和光學(xué)原理

    濾光設(shè)計:經(jīng)過特別定制的濾光片,比如黃色濾光片。篩選過濾藍光和紫外線。避開對光敏材料干擾,比如光刻膠等。

     

    黃綠光的特點:波長范圍在510-600納米之間。比如550納米的純綠光或者570-580納米的復(fù)合型綠光。是介于人體眼睛敏感度的峰值范圍里,那可以減少視覺疲憊,而且增加缺陷對比度。

     

  2. 光源性能參數(shù)

    長壽命和冷光源

    LED光源沒有發(fā)熱的問題,不會產(chǎn)生晶圓熱變形情況。那么LED燈珠壽命可達3000小時以上,從而降低成本。

     

    均勻性和高亮度

    為確保1μm以下的微塵和劃痕的可見度,照度可以達到30-40LUX

     

  3. 潔凈室的兼容性

    防靜電措施:燈體接地設(shè)計,比如金屬外殼需要接地。采用防靜電材料或者導(dǎo)電涂層,比如碳填充塑料的方式避開靜電吸附灰塵,符合GB50611標準。

     

    無塵的設(shè)計:燈體采用光滑表面的材料,比如ABS防靜電塑料。沒有孔隙的結(jié)構(gòu),阻止積累灰塵。

     



二、FAB場景下的應(yīng)用特點:

  1. 檢測缺陷的能力

    高分辨率: 可以識別1微米以下的劃痕,顆粒。比如晶圓表面的錯位滑移線,配合腐蝕工藝,比如硝酸-氫氟酸混合液以后,用目檢燈可以清楚定位到缺陷為止。

     

    適用多場景性:

    除了晶圓以外,還能檢測汽車玻璃、液晶玻璃等表面的凹凸缺陷、油墨殘留于。而且支持不同情況,比如清洗后、蝕刻的在線檢測。

     

  2. 和自動化檢測的協(xié)同

    燈光參數(shù)的優(yōu)化:有些AOI設(shè)備,采用RGB三色光源,但是黃綠光目檢燈的單色高對比度特點無法替代,特別是在檢測透明材料的時候可以避開色偏干擾。

     

    輔助AOI設(shè)備:

    人工復(fù)核工具:目檢燈。可以校驗自動光學(xué)檢測,AOI設(shè)備如果出現(xiàn)漏檢或者是錯誤判斷的時候,比如,在極耳翻折檢測里,人工目檢可以補充智能算法的局限性。

     

  3. 操作規(guī)范和合規(guī)性

    人員操作要求:燈檢工作人員需要定期進行視力檢查,矯正視力大于等于5.0。而且在黑暗環(huán)境里適應(yīng)5分鐘以上的對比度識別能力和提升。

     

    照度標準:FAB中燈檢照度大于等于2000LUX,而黃綠光目檢燈實際照度一般遠超這個要求,確保檢測的可靠性。

     

     

FAB缺陷黃綠光表面目檢燈品牌推薦:

路陽 LUYOR-3325GD 手持式黃綠光表面檢查燈:

采用大功率的LED燈珠, 36W570-580納米黃綠光,桌面和便攜雙模式,適用于晶圓顆粒及劃痕檢測。

  1. 光斑均勻,產(chǎn)品輕便,內(nèi)置鋰電池。可以手持著檢查產(chǎn)品表面的顆粒物、劃痕、手印等產(chǎn)品缺陷,也可以配合臺式支架作為臺式表面檢查燈進行長時間檢查。

  2.  

  3. 堅固耐用、維護成本低的便攜式黃綠光表面檢查燈LUYOR-3325GD進行光學(xué)晶圓檢測,與 100 瓦高壓汞燈相比,具有以下優(yōu)勢:

  4. 輕便:沒有繁重電源箱,手持操作,方便快捷。

  5. 省時:即可即用,無需等待。

  6. 經(jīng)濟:光源壽命長達50000小時,無須頻繁更換燈泡。

  7. 光斑均勻,檢查效率高,減少漏檢。

  8. 安全:長時間運行,不發(fā)燙,沒有燙傷危險。

  9. 高效:led光源,發(fā)光效率高,節(jié)省能源。

  10. 光譜純正:不會產(chǎn)生紫外線。

     

FAB缺陷黃綠光表面目檢燈的顆粒檢測:減少晶圓生產(chǎn)/半導(dǎo)體生產(chǎn)中的污染 除了晶圓檢測過程中的目視表面檢測,即通過黃光燈或綠光燈進行部分自動化的晶圓檢測外,許多半導(dǎo)體制造商還有進一步的要求: 使用測試燈檢查系統(tǒng)中的顆粒污染 使用黃光表面檢查燈或UV-LED紫外線燈進行粒子檢測 晶圓生產(chǎn)過程中潔凈室中質(zhì)量控制的顆粒檢查 搜索并查找用于清潔半導(dǎo)體生產(chǎn)中機器的顆粒 在持續(xù)的質(zhì)量控制過程中清潔和保持生產(chǎn)設(shè)備的清潔 在大多數(shù)情況下,顆粒檢測只能通過人工檢查進行,因此可以使用便攜式黃綠光表面檢查燈進行檢測。

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上海路陽儀器有限公司
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